实际上，电容式传感器并不是一个纯电容，其完整的等效电路，包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感；由引线电阻、极板电阻和金属支架电阻组成；为传感器本身的电容；蜘为引线电缆、所接测量电路及极板与外界所形成的总寄生的电容：是极间等效漏电阻，它包括极板间及与外界间的漏电损耗和介质损耗。
在低频时，传感器电容的阻抗非常大，因此影响可以忽略。其等效电路可简化为其中等效电容在高频时，传感器电容的阻抗就变小了，因此影响不可忽略，而漏电阻的影响可以忽略。其等效电路可简化，其中等效电容引线电缆的电感很小，只有工作频率在l0mhz以上时，才考虑其影响。
传感器电容极板之间的有功损耗致使传感器电容电压和电流相位差比90度小一个角，利用
这些特点又可测量更多的量，如石油的含水量和种子或土壤的湿度等。
由电容式传感器的等效电路可知．它有一个谐振频率，通常为几十兆赫。当工作频率等于或
接近谐振频率时，就破坏了电容的正常作用。因此，供电电源频率必须低于该谐振频率，一般为
其1/3一l/2，传感器才能正常工作。
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