1．静态灵敏度
静态灵敏度是被测量缓慢变化时传感器电容变化量与引起其变化的被测量变化之比。对于变极距型，可见其灵敏度是初始扳板间距的函数，同时还随被测量而变化。减小，可以提高灵敏但过小易导致电容器击穿(空气的击穿电压为3kv／mm)。可在极问加一层云母片(其击穿电压大于lo的3次方kv／mm)或塑料膜来改善电容器的耐压性能。
对于圆柱形变面积型电容式传感器，可得其静态灵敏度为覆盖长度与灵敏度无关，但不可太小，否则边缘效应将影响到传感器的线性变极距型和变面积型还可采用差动结构提高静态灵敏度，一股能提高一倍。变面积型差动式线位移传感器。由此可见，差动式比相应单组式的传感器灵敏度提高一倍。
由前面分析可知；变面积型和变介电常数型电容式传感器在忽略边缘效应时，其输入被测量与输出电容量一般呈线性关系，因而其静态灵敏度为常数。
2．非线性
对变极距型电容式传感器而言，当极板间距变化时．其电容量随之变化。显然，输出电容与被测量之间是非线性关系。只有当略去各非线性项后才能得到近似线性关系。由于取值不能大，否则将降低灵敏度，因此变极距型电容式传感器常工作在一个较小的范围内(0.01um零点几毫米)，而且最大的应小于极板间距的1/5一l/10。采用差动形式，并取两电容之差为输出量，相比之下，差动式的非线性得到了很大的改善，灵敏度也提高了一倍。
变面积型和变介电常数型(测厚除外)电容式传感器具有很好的线性是以忽略边缘效应为条件的。实际上由于边缘故应引起极板(或极筒)间电场分布不均匀非线性问题仍然存在，且灵敏度下降，但比变极距型好得多。