随着半导体技术的发展,传感器已向半导体化和集成化方向发展:人们发现固体受到作用力后,电阻率就要发生变化,这种效应称为压阻效应。它以半导体材料最为显著。压阻式传愿器的工作原理就是签十半导体的比N1效应的;压阻效应的微观理论是建立在半导体的能带理论基础上的。
利用半导体材料制成的压阻式传感器行两种类型;一种是利用个导体材料的体电阻做成粘贴式半导体应变计;另一种是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成扩散电阻,称为扩散型压传感器。
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